浙江晶盛机电 抛光承载台及智能检测抛光方法专利讲解

今天，乐知网律师 给大家分享：浙江晶盛机电 抛光承载台及智能检测抛光方法专利讲解 。


浙江晶盛机电股份有限公司所申请的“一种抛光承载台及抛光方法”专利解读如下：

浙江晶盛机电股份有限公司在硅片加工技术领域内，针对抛光过程中硅片异常情况的识别和应对问题，提出了创新性的抛光承载台及抛光方法。

该技术旨在提高抛光过程的自动化和智能化水平，确保硅片抛光的质量和效率。

抛光承载台设计：

该抛光承载台主要由承载盘、抛光垫和检测组件构成。

承载盘具备转动自由度，能够带动抛光垫和硅片进行旋转抛光。

流体通道设计：

承载盘上设有流体通道，分为第一段和第二段。

第一段一端朝抛光垫方向延伸并贯穿抛光垫，形成位于抛光面上的第一出口。

第二段与第一段连通，并位于承载盘上与外部供气件连接。

检测组件集成：

检测组件至少部分容置于流体通道的第一段内，用于检测第一段和/或第二段内的流体状态。

这一设计使得在抛光过程中能够实时监测流体状态，进而判断抛光过程中的异常情况。

专利技术优势：

异常识别与应对：

通过检测组件对流体状态的实时监测，能够及时发现抛光过程中的异常情况，如抛光垫磨损、硅片移位等，从而进行及时应对，避免对硅片造成损坏或影响抛光质量。

提高抛光效率：

通过优化抛光承载台和抛光方法，能够减少抛光过程中的非必要停机时间，提高抛光效率。

提升自动化水平：

将检测组件集成于流体通道中，实现了抛光过程的实时监测和自动化控制，提升了抛光过程的自动化水平。


更多关于 浙江晶盛机电 抛光承载台及智能检测抛光方法专利讲解 的资讯，可咨询 乐知网。

(乐知网- 领先的一站式知识产权服务平台，聚焦 专利申请，商标注册 业务)。